學術簡介

林啟瑞教授現任明新科技大學代理校長，曾擔任臺北科技大學機械系系主任、機電學院院長、特聘教授兼副校長，而後擔任過明新科技大學第九任校長，卸任後以講座教授的身分持續耕耘技職人才培育。他於 1998 年成立鑽石研究團隊(Diamond Group)，研究方向主要致力於機電整合及薄膜製程設備的設計與開發。團隊的研究成果在各種面向皆擁有許多豐富的斬獲，發表於國內外期刊，其發表論文共達百餘篇。並獲得台灣真空學會會士(Fellow)，俄羅斯國際工程院通訊院士 (Junior Academician) 之殊榮。

在研究的路上不斷的突破與進步，研究團隊主要重點方向為奈米碳材料之研究，奈米碳材料製程開發，研究成果主要為超奈米晶鑽石薄膜、類鑽碳薄膜、石墨烯等奈米碳管之製備製程及其應用於高效能光電半導體元件與植入式生醫感測器。真空技術在於薄膜製程設備開發及研究上為非常重要的一個環節，目前我們研究團隊已成功開發：1. 自實驗室移植類鑽碳薄膜成長配方至工業化電漿增強式化學氣相沉積設備，成功合成達12吋晶圓尺寸之類鑽碳薄膜，並以室溫無矽烷製程合成12”晶圓尺寸之二氧化矽薄膜。2. 結合異常霍爾效應結構及類鑽碳薄膜場發射，設計並發表前瞻之自旋場發射源模型。3. 奈米鑽石粉末靶材技術，以低溫濺鍍之製程，濺鍍接近鑽石品質之類鑽碳膜，製程中不需要在通入氧氣及氫氣。4. 已成功開發類鑽碳膜沉積於塑膠基板之低溫製程技術，並成功用於可撓性面板保護層。5. 已成功開發超奈米晶鑽石膜之低溫、低壓微波電漿束之製程技術並應用於製備良好時間響應和穩定再現性的紫外光感測器。6. 開發鑽石鍍膜之製程設備並應用於快速精密切削刀具之效能提升。研究團隊掌握多項關鍵技術及產業合作經驗，除技術開發外，同時能為業界和學界培育相關的技術人力，期持續鞏固台灣在半導體領域的國際優勢。